為了滿足一些對(duì)質(zhì)控要求高的工業(yè)車(chē)間生產(chǎn)環(huán)境，很多企業(yè)選擇建設(shè)無(wú)塵車(chē)間。精密制造工業(yè)以半導(dǎo)體、晶片、集成電路等制造工藝的需求設(shè)置無(wú)塵室，業(yè)內(nèi)也叫超凈間。這種無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，這些制造品類(lèi)的無(wú)塵車(chē)間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。　



　　半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間的建設(shè)專(zhuān)業(yè)度高且程序復(fù)雜，要打造真正意義上滿足標(biāo)準(zhǔn)且適合工藝流程的超凈間包含多種專(zhuān)業(yè)維度的建設(shè)內(nèi)容。譬如：建筑構(gòu)造、內(nèi)部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統(tǒng)建設(shè)、自控系統(tǒng)建設(shè)、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等。這些內(nèi)容每一個(gè)維度都關(guān)系著該車(chē)間目標(biāo)控制標(biāo)準(zhǔn)的達(dá)成。那么有人就會(huì)問(wèn)了，這么多內(nèi)容那得找多少不同技術(shù)領(lǐng)域的團(tuán)隊(duì)來(lái)建設(shè)，在銜接管理上豈不是相當(dāng)麻煩。沒(méi)錯(cuò)，半導(dǎo)體超凈間涉及的技術(shù)領(lǐng)域多，如果甲方一個(gè)類(lèi)別一個(gè)類(lèi)別去尋找、對(duì)接、篩選分包商，確實(shí)是耗時(shí)又耗力。這個(gè)時(shí)候，選擇與潔凈工程領(lǐng)域的EPC集成服務(wù)商合作，這些問(wèn)題就可以迎刃而解了。CEIDI西遞這類(lèi)潔凈工程EPC(工程總承包)集成服務(wù)商通常會(huì)承擔(dān)從潔凈工程的整體規(guī)劃開(kāi)始，到內(nèi)部平面設(shè)計(jì)、各類(lèi)技術(shù)方案、施工建設(shè)及過(guò)程監(jiān)控、實(shí)驗(yàn)家具及內(nèi)部配套工程一體化的集成服務(wù)整體解決方案。

　　因?yàn)殡娮庸�業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜，我們摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中，暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述。

　　半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

　　1.半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間多以萬(wàn)級(jí)(局部百級(jí))為設(shè)計(jì)目的。要達(dá)到這樣的標(biāo)準(zhǔn)，就必須選擇**或亞**過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器，對(duì)進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間的空氣，進(jìn)行一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。

　　2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外，還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個(gè)盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

　　3.要根據(jù)無(wú)塵車(chē)間的規(guī)格大小來(lái)選擇合適的送風(fēng)設(shè)備，達(dá)到足夠的送風(fēng)量，以達(dá)到可以稀釋空氣的含塵濃度，又能保證有穩(wěn)定氣流流型的目的。

　　半導(dǎo)體、晶片、集成電路超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：

　　在工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過(guò)程中，工藝步驟達(dá)幾百道，前后要使用幾十種不同種類(lèi)的氣體。CEIDI西遞在設(shè)計(jì)電子工業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】過(guò)程中會(huì)依據(jù)行業(yè)特色和自身經(jīng)驗(yàn)判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導(dǎo)體超凈車(chē)間，會(huì)推薦采用外購(gòu)氣體鋼瓶或鋼瓶組來(lái)輸送供氣，有易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類(lèi)特種氣體需求的，選擇這種方式會(huì)節(jié)省投資，且擁有使用方式靈活的優(yōu)點(diǎn)，電耗及制氣成本相對(duì)也比較低廉。缺點(diǎn)是在氣體輸送的過(guò)程中氣體比較容易受到污染，對(duì)后期就整個(gè)供應(yīng)系統(tǒng)的管理和維護(hù)要求較高。不過(guò)這對(duì)合作方是CEIDI西遞這類(lèi)總包服務(wù)商來(lái)說(shuō)，基本上后續(xù)維護(hù)質(zhì)量等問(wèn)題無(wú)需擔(dān)憂。

　　在半導(dǎo)體、晶片、集成電路這類(lèi)電子工業(yè)超凈間建設(shè)過(guò)程中，因?yàn)楣に噺?fù)雜對(duì)環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)**空氣中的顆粒物、有害空氣、**等污染物，控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布，將噪聲振動(dòng)和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，需要平面設(shè)計(jì)師和各技術(shù)段工程師非常精密的計(jì)算與合作，CEIDI西遞EPC集成服務(wù)商的集成服務(wù)優(yōu)勢(shì)在這里可以比較明顯的體現(xiàn)出來(lái)。設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)和項(xiàng)目施工團(tuán)隊(duì)已經(jīng)過(guò)多年磨合，對(duì)工程建設(shè)的理念和進(jìn)度配合都達(dá)成比較一致的思維，往往能在保質(zhì)保量地完成工程建設(shè)的同時(shí)，將節(jié)能與實(shí)用性做充分的融合。