低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成**無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
　　等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
　　(1)電場+電子→高能電子
　　>(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
　　(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
　　(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
　　從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
　　作為環境污染處理領域中的一項具有極強潛在優勢的高新技術，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。
　　等離子有機廢氣處理設備又稱為低溫等離子廢氣凈化器、等離子廢氣處理設備，等離子有機廢氣處理設備是一種用應于有機廢氣處理的環保設備，具有阻力小，操作簡單等特點，等離子有機廢氣處理設備廣泛適用于工廠各種低濃度的有機廢氣處理。
　　低溫等離子特點：
　　1、無需添加任何物質：低溫等離子廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，無需任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
　　2、適應性強：持久的凈化功能，無需專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，在高溫250℃，低溫-50℃的環境內，凈化區均可運轉，特別是在潮濕，甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行，每天24小時連續工作，長期運行穩定可靠。
　　3、低耗節能：運行費用低廉、省電是“低溫等離子體”專利核心技術之一，處理1000m3/h臭氣，耗電量僅0.25度。本設備無任何機械動作，自動化程度高，工藝簡單，操作簡單，防爆無需專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。
　　4、設備使用壽命長：本設備由不銹鋼材、銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，抗氧化性強，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。使用壽命長達15年以上。
　　5、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠。
　　等離子有機廢氣處理設備是一種新型高端的干法處理有機廢氣的凈化設備，它改變了使用活性炭材料的工藝技術，無需再生處理原料，無需專人負責，無產生二次污染，更換及維護保養方便，運行成本低廉，是有機廢氣治理**進的一項技術。