等離子體工業廢氣處理技術已研制出標準化廢氣治理設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子**、電離、裂解工業廢氣中的各組成份，使之發生分解，氧化等一些列復雜的化學反應，再經過多級凈化，從而**各種污染源排放的異味、臭味污染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。由于其對污染物分子的分解且處理能耗低等特點，為工業廢氣的處理開辟了一條新的思路。
　　等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
　　(1)電場+電子→高能電子
　　(2)高能電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
　　(3)活性基團+分子(原子)→生成物+熱
　　(4)活性基團+活性基團→生成物+熱
　　作用原理
　　低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。
　　低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）
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